反滲透超純水機也稱反滲透水處理系統，其原理是原水在高壓力的作用下通過反滲透膜，水中的溶劑由高濃度向低濃度擴散從而達到分離、提純、濃縮的目的，由于它于自然界的滲透方向相反，因而稱它為反滲透。反滲透水處理系統可以去除水中的細菌、病毒、膠體、有機物和98%以上的溶解性鹽類。該方法具有運行成本低，操作簡單，出水水質穩定等特點。
反滲透超純水機用預處理反滲透技術及edi系統組合而成，能將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
預處理系統通常包括石英砂過濾器，活性炭過濾器及軟化器過濾系統，預處理的作用主要是去除水中的有機物、懸浮物、膠體、余氯和鈣鎂離子等，以確保進水要求，減少工作時產生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑。
反滲透超純水機特點：
1：高效節能，因為反滲透技術結合高效臭氧消毒方法，整個系統工作于常溫、低壓狀態，設備投資省，運行維護費用低，可靠節能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，極具競爭力。
2：穩定可靠。采用膜法工藝及多介質過濾器進行預處理;反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發有機污染物質。
反滲透超純水機的制水工藝：
1：采用離子交換方式：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
2：采用反滲透水處理設備與離子交換方式為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。
3：采用反滲透EDI方式工藝為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點。
反滲透超純水機各主要部件的作用
原水泵：
解決原水水壓力不穩定，滿足預處理進水壓力恒定，流量充足，確保RO系統正常運行。
石英砂過濾器：
石英砂過濾器是玻璃鋼材質的壓力式過濾容器，耐壓 6kg/cm2，是一種先進的微絮凝過濾方式，罐內填裝高耐磨精制石英砂，可攔截原水殘留少量細小的泥沙、雜質、膠狀物體、懸浮物等藻類可見物，對原水中的濁度、色度起到降低作用，濾除不溶于水中的（氧化物、濁度、顆粒物等）雜質，特別是在降低原水中的濁度、污染指數等方面具有很好的效果。
活性炭過濾器：
活性炭過濾器是玻璃鋼材質的壓力式過濾容器，耐壓 6kg/cm2，內裝凈水專用顆粒碳，用于吸附水中色素、有機物、余氯、異味、沉積的重金屬離子、去除由鐵、脫氯、使余氯含量≤1PPM。是水深度處理中不可缺少的材質。
去色：可去除原水中由鐵、錳及植物分解的有機污染物所形成的色度。
去除有機物：可去除原水中微量污染物，如農藥，殺蟲劑，氯化烴，芳香族化合物，以及BOD 與 COD 等。
去除有機氯：可去除原在自來水出廠前投加預氧化劑和消毒劑（如氯氣）所產的 THMS 等“三致”物質及余氯所造成的嗅味。
去除氨氮和亞硝酸鹽：活性炭可有效去除氨氮、亞硝酸鹽、余氯或氧化劑：保護反滲透膜。
除臭：去除水中的微量重金屬離子（如汞、鉻等離子），合成洗滌劑及放射性物質等。
精密過濾器：
精密過濾器外殼為不銹鋼材質，內裝過濾精度5us的溶噴PP棉、可攔截預處理流入的雜質、防止原水內的顆粒物在高流速下穿刺或劃傷RO反滲透膜表面的脫鹽層及過早堵塞、保證進入RO膜的水干凈清澈、延長RO膜的壽命。
高壓泵的作用：
高壓泵采用立式多級特種離心泵，為反滲透系統提供恒定的動力，確保壓力穩定，流量充足，保證反滲透系統的正常運行，高壓泵進水口前裝有水位壓力保護裝置，當進水壓力異常時高壓泵停止運行，以免干轉燒壞高壓泵。
RO反滲透系統
通過高壓泵對過原水施加大于滲透壓的壓力，利用 RO 膜的分離技術，有效分離出原水中大于 200 的幾乎包括所有顆粒、膠體、有機雜質、微生物等有害物及 99%的溶解鹽，達到脫鹽純化的目的，使純水電導率≤10us,(原水質≤300us)。
反滲透技術制純水與傳統的離子交換、蒸餾技術制純水相比，有設備體積小、能耗低、適應性強、無需酸堿再生劑、工藝簡單、易實現自動化、產水質量優良、水質穩定、無微生物、無重金屬離子、無有機化合物等優點。排放的濃水對環境無害，是一項符合環保要求的分離技術。
EDI系統：
EDI（Electrodeionization）又稱連續電除鹽技術，是將電滲析技術和離子交換技術融為一體，通過陽、陰離子膜對陽、陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對水中離子的交換作用，在電場的作用下實現水中離子的定向遷移，從而達到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產生的氫離子和氫氧根離子對裝填樹脂進行連續再生，EDI與傳統的離子交換相比較，EDI在制水過程不需酸、堿化學藥品再生即可連續制取高品質超純水，它具有技術先進、出水水質穩定、結構緊湊、操作簡便等優點。
反滲透超純水機已廣泛應用于：電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、鋼鐵、玻璃清洗用水、半導體工業、精細化工、光學、醫藥用水、透析醫療用水。等領域。
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