超純水設備系統從制水工藝配置上分有雙級反滲透超純水設備；單級反滲透+edi超純水設備；雙級反滲透+edi超純水設備；雙級反滲透+edi+核能樹脂超純水設備，這些配置的產水水質都各有不同，配置超多產水水質就越好，比如雙能反滲透的產水質電導率在1us/cm—10us/cm之間，雙級反滲透+edi+核能樹脂的產水電阻率可以達到18.2兆歐，18.2兆歐的水質也是目前水處理行業中最好的水了。
超純水設備系統不管是用哪種處理工藝它們的共同點就ro系統前面的預處理（砂過濾+炭過濾+精密過濾器）都是相同的，預處理的主要目的是過濾原水中的泥沙，鐵銹，紅蟲，色素，異味，膠原體，氯離子等雜質，其目的是保護反滲透系的ro膜的使用壽命，所以預處理是相當重要。
超純水設備系統的制水工藝流程有：
雙級反滲透制水工藝： 原水箱+原水泵+石英砂過濾器+活性炭過濾器+雙級反滲透系統+超純水箱=電際率≤5us/cm。
單級反滲透+EDI制水工藝： 原水箱+原水泵+石英砂過濾器+活性炭過濾器+軟化系統+單級反滲透系統+edi系統+超純水箱=電阻率≤5Ω·m
雙級反滲透+EDI制水工藝： 原水箱+原水泵+石英砂過濾器+活性炭過濾器+雙級反滲透系統+edi系統+超純水箱=電阻率≤10Ω·m
EDI系統+拋光混床制水工藝：原水箱+原水泵+石英砂過濾器+活性炭過濾器+雙級反滲透系統+edi系統+拋光混床+超純=水電阻率18.2Ω·m
超純水設備系統各主要部件的作用
原水泵：
解決原水水壓力不穩定，滿足預處理進水壓力恒定，流量充足，確保RO系統正常運行。
石英砂過濾器：
石英砂過濾器是玻璃鋼材質的壓力式過濾容器，耐壓 6kg/cm2，是一種先進的微絮凝過濾方式，罐內填裝高耐磨精制石英砂，可攔截原水殘留少量細小的泥沙、雜質、膠狀物體、懸浮物等藻類可見物，對原水中的濁度、色度起到降低作用，濾除不溶于水中的（氧化物、濁度、顆粒物等）雜質，特別是在降低原水中的濁度、污染指數等方面具有很好的效果。
活性炭過濾器：
活性炭過濾器是玻璃鋼材質的壓力式過濾容器，耐壓 6kg/cm2，內裝凈水專用顆粒碳，用于吸附水中色素、有機物、余氯、異味、沉積的重金屬離子、去除由鐵、脫氯、使余氯含量≤1PPM。是水深度處理中不可缺少的材質。
去色：可去除原水中由鐵、錳及植物分解的有機污染物所形成的色度。
去除有機物：可去除原水中微量污染物，如農藥，殺蟲劑，氯化烴，芳香族化合物，以及BOD 與 COD 等。
去除有機氯：可去除原在自來水出廠前投加預氧化劑和消毒劑（如氯氣）所產的 THMS 等“三致”物質及余氯所造成的嗅味。
去除氨氮和亞硝酸鹽：活性炭可有效去除氨氮、亞硝酸鹽、余氯或氧化劑：保護反滲透膜。
除臭：去除水中的微量重金屬離子（如汞、鉻等離子），合成洗滌劑及放射性物質等。
精密過濾器：
精密過濾器外殼為不銹鋼材質，內裝過濾精度5us的溶噴PP棉、可攔截預處理流入的雜質、防止原水內的顆粒物在高流速下穿刺或劃傷RO反滲透膜表面的脫鹽層及過早堵塞、保證進入RO膜的水干凈清澈、延長RO膜的壽命。
高壓泵的作用：
高壓泵采用立式多級特種離心泵，為反滲透系統提供恒定的動力，確保壓力穩定，流量充足，保證反滲透系統的正常運行，高壓泵進水口前裝有水位壓力保護裝置，當進水壓力異常時高壓泵停止運行，以免干轉燒壞高壓泵。
RO反滲透系統
通過高壓泵對過原水施加大于滲透壓的壓力，利用 RO 膜的分離技術，有效分離出原水中大于 200 的幾乎包括所有顆粒、膠體、有機雜質、微生物等有害物及 99%的溶解鹽，達到脫鹽純化的目的，使純水電導率≤10us,(原水質≤300us)。
反滲透技術制純水與傳統的離子交換、蒸餾技術制純水相比，有設備體積小、能耗低、適應性強、無需酸堿再生劑、工藝簡單、易實現自動化、產水質量優良、水質穩定、無微生物、無重金屬離子、無有機化合物等優點。排放的濃水對環境無害，是一項符合環保要求的分離技術。
EDI系統：
EDI（Electrodeionization）又稱連續電除鹽技術，是將電滲析技術和離子交換技術融為一體，通過陽、陰離子膜對陽、陰離子的選擇透過作用以及離子交換樹脂對水中離子的交換作用，在電場的作用下實現水中離子的定向遷移，從而達到水的深度凈化除鹽，并通過水電解產生的氫離子和氫氧根離子對裝填樹脂進行連續再生，EDI與傳統的離子交換相比較，EDI在制水過程不需酸、堿化學藥品再生即可連續制取高品質超純水，它具有技術先進、出水水質穩定、結構緊湊、操作簡便等優點。
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