超純水生產設備采用預處理反滲透技術及edi系統組合而成，能將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
預處理系統通常包括石英砂過濾器，活性炭過濾器及軟化器過濾系統，預處理的作用主要是去除水中的有機物、懸浮物、膠體、余氯和鈣鎂離子等，以確保進水要求，減少工作時產生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑。
早期的超純水生產設備主要是來自發電、醫藥化工、造紙等行業，水質要求相對較低，其制備只要采用離子交換，該方法的主要缺點是化學藥劑再生，既麻煩又不經濟，而且由于強行樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導體工業發展，對超純水質量要求提高，從而大大的推動了純水技術的發展，到了上個世紀末，膜技術得到了廣泛的應用，超濾，電滲析和反滲透技術先進的水處理技術得到了飛速的發展，膜法制備純水取代了傳統的離子交換設備系統，解決了TOC問題，滿足了電子行業對純水質量的要。
現階段超純水處理設備特點：
1：高效節能，因為反滲透技術結合高效臭氧消毒方法，整個系統工作于常溫、低壓狀態，設備投資省，運行維護費用低，可靠節能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，極具競爭力。
2：穩定可靠。采用膜法工藝及多介質過濾器進行預處理;反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發有機污染物質。
現階段超純水生產設備的制水工藝：
1：采用離子交換方式：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
2：采用反滲透水處理設備與離子交換方式為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。
3：采用反滲透EDI方式工藝為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點。
超純水生產設備已廣泛應用于：電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、鋼鐵、玻璃清洗用水、半導體工業、精細化工、光學、醫藥用水、透析醫療用水。等領域。
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