隨著現代科技的發展,人們對工業用水提出的要求越來越高。電子工業用水、電廠發電鍋爐用水、醫療及制藥工業用水、以及實驗室高精密度儀器分析用水等均對水質有極其嚴格的要求, 其中電子芯片清洗水水質要求已經接近于理論純水的指標。水處理行業傳統的高純水生產技術都必須采用反滲透+混床離子交換法, 這種配置的超純水設備操作復雜、酸堿污染、產水成本高。現在都采用更先進的edi來取代混床離子交換樹脂, 不僅提高了對水中各種強雜質的脫除率, 而且對產品水中的弱電解質具有較強的去除能力。 這種配置能夠連續穩定地制取高品質產水, 產水脫鹽率大于99.9%，產水電阻率在1MΩ.cm—18MΩ。
超純水設備的預處理系統通常包括石英砂過濾器，活性炭過濾器及軟化器過濾系統，預處理的作用主要是去除水中的懸浮物、泥砂、微粒、有機硅膠體、有機物、異味、余氯等雜質，以確保進水要求，減少工作時產生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑。
1：高效節能，因為反滲透技術結合高效臭氧消毒方法，整個系統工作于常溫、低壓狀態，設備投資省，運行維護費用低，可靠節能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，極具競爭力。
2：穩定可靠。采用膜法工藝及多介質過濾器進行預處理;反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發有機污染物質。
超純水設備的制水工藝：
1：采用離子交換方式：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
2：采用反滲透水處理設備與離子交換方式為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。
3：采用反滲透EDI方式工藝為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點。
超純水設備已廣泛應用于：電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、鋼鐵、玻璃清洗用水、半導體工業、精細化工、光學、醫藥用水、透析醫療用水。等領域。
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