化工超純水設備采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級紫外殺菌處理等方法，將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不溶解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。超純水的電阻率可大于18MΩ*cm，或接近18.2MΩ*cm極限值。
化工行業用超純水系統設備超純水主要應用于化工反應冷卻、化學藥劑、化肥及精細化工、化妝品制造過程用水系統、紡織印染、造紙用水，化工試劑生產用純水；護膚品生產用純水，洗發水生產用純水，染發劑生產用純水；化學實驗室、物理實驗室、生物實驗室等。
化工超純水設備采用預處理反滲透技術及edi系統組合而成，能將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
預處理系統通常包括石英砂過濾器，活性炭過濾器及軟化器過濾系統，預處理的作用主要是去除水中的有機物、懸浮物、膠體、余氯和鈣鎂離子等，以確保進水要求，減少工作時產生垢物和藻類生長及微生物污染及氧化劑。
超純水處理設備特點：
1：高效節能，因為反滲透技術結合高效臭氧消毒方法，整個系統工作于常溫、低壓狀態，設備投資省，運行維護費用低，可靠節能：膜處理法的運行成本僅為蒸餾方法的12-15%，非常經濟，極具競爭力。
2：穩定可靠。采用膜法工藝及多介質過濾器進行預處理;反滲透膜的微孔透過式工作原理保證了去除水體中所有較大的離子、分子，可以輕松去除分子直徑更大的易揮發有機污染物質。
超純水處理設備的制水工藝：
1：采用離子交換方式：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
2：采用反滲透水處理設備與離子交換方式為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床（復床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。
3：采用反滲透EDI方式工藝為：原水→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點。
超純水處理設備已廣泛應用于：電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、鋼鐵、玻璃清洗用水、半導體工業、精細化工、光學、醫藥用水、透析醫療用水。等領域。
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