超純水水處理設備是一種將自來水轉化高度純水的水處理設備，超純水水處理設備已廣泛應用于電子行業的集成電路芯片，半導體，顯像管，液晶顯示器，顯示設備﹑離散電子設備等精密電子產品行業以及電鍍，化工，電力，精密電子產品行業 ，醫藥及醫療，化妝品行業，精密機械加工行業等。
超純水水處理設備在生產過程中，水中的陰陽離子可用電滲析法，反滲透法及離子交換技術等去除，在超純水的應用領域中，水的純度直接關系到器件的性能及可靠性，因此超純水要求具有相當高的純度和精度。
超純水水處理設備的過濾系統大致可分為預處理、反滲透、edi系統。自來水首先通過預處理系統，去除水中較大的顆粒、懸浮物以及部分有機物。然后進入反滲透系統，對水中的離子物質和大分子物質（如病毒、微生物等）進行截留性去除。之后再經過edi模塊系統使水中的離子含量降低到痕量水平。
超純水水處理設備的工藝流程：
離子交換工藝：原水+石英砂過濾器+活性碳過濾器+精密過濾器+原水箱+陽床+陰床+混床(復床)+純水箱+純水泵+后置精密過濾器+用水點。
反滲透工藝：原水+石英砂過濾器+活性碳過濾器+精密過濾器+原水箱+反滲透設備+混床(復床)+純水箱+純水泵+后置精密過濾器+用水點。
反滲透+edi工藝：原水+石英砂過濾器+活性碳過濾器+精密過濾器+原水箱+反滲透設備+電去離子(EDI)+純水箱+純水泵+后置精密過濾器+用水點。
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