超純水機通常情況下也被叫做超純水設備，超純水機制出來的水質至少在5us/cm至18.2兆歐之間，整套設備可以連續的全自動工作，設備配有進水低壓保護裝置，當進水壓力低或缺水的情況下會報警停機，真正實現原水缺水停機，純水水滿自動停機，同時也裝有水質在線檢測儀，可以直觀的看到水質數據，免去了人工測水質的麻煩。
超純水機采用預處理、反滲透技術、可將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。超純水系統設備的脫鹽核心部件是反滲透膜。
目前超純水機已廣泛應用于：電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、鋼鐵、玻璃清洗用水、半導體工業、精細化工、光學、醫藥用水、透析醫療用水。等領域。
超純水機的制水工藝如下：
1： 原水箱→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→雙級反滲透系統→超純水箱=電際率≤5us/cm。
2： 原水箱→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟化系統→單級反滲透系統→edi系統→超純水箱=電阻率≤5Ω·m
3： 原水箱→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→雙級反滲透系統→edi系統→超純水箱=電阻率≤10Ω·m
4：原水箱→原水泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→雙級反滲透系統→edi系統→拋光混床→超純=水電阻率18.2Ω·m
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